●光伏行业专用,兼容 210 和 182 规格电池片,支持最大 250 mm 样品或 10 英寸晶圆。
●支持全自动多点扫描,获取样品的方阻分布,用于评估电池片片内方阻均匀性。
●采用红宝石轴套导向的碳化钨探针,测量范围为 10 μΩ~1 MΩ,适用于光伏电池研发、工艺验证及产线抽检。
• 全自动多点扫描:支持多种预设方案,也可根据样品形状自定义测试点位
• 手动任意点测量:输入坐标即可快速完成指定位置测试
• 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头,保证测量机械精度、稳定性和寿命
• 超宽测量范围:10 µΩ∼1 MΩ
• 最大样品尺寸:10 英寸样品
• 测量速度:∼2 秒/点
• 测量精度:±0.1%(标准电阻片)
• 重复性(1σ):≤0.2%(ITO 标样动态测试)
• 数据可视化:支持 2D 彩色热图和 3D 图
• 数据自动存储:测试数据可存储为 Excel 格式,便于后续数据分析
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