RM300A四探针方阻测试仪

RM300A是专为半导体行业和科学研究设计的自动四探针方阻测试仪，可以对最大300mm样品（12英寸晶圆）进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率/膜层厚度分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性（接近真实场景）可达0.2%，为行业领先水平。1 μΩ~1 MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于光伏、半导体、合金等诸多领域。