四探针方阻测试仪 RM300A｜支持12英寸晶圆高精度测试

● 全自动多点扫描:多种预设方案供选择，也可以自定义测试方案

● 手动任意点测量:只需提供坐标，一键测量

● 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命

● 超宽测量范围: 10 μΩ~1 MΩ

● 最大样品尺寸: Φ300mm* 5 mm

● 测量速度: ~2秒/点

● 测量精度: ±0.1% (标准电阻片)

● 重复性(1σ): 0.2% (ITO标样动态测试)

● 数据可视化:3D图，2D彩色热图

● 数据自动存储:存储为EXCEL格式，便于后期数据分析

重复性测试数据图

动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%，为行业领先水平。

8英寸样品测试结果

彩色热图集成等高线图，膜层方阻/厚度分布一目了然

项目	参数
外观尺寸	560 mm * 460 mm * 400 mm
探针头参数	探针间距：1.00 mm 探针材料：碳化钨探针压力 (可选)：4N (±1N) 机械游移：< 0.3% 宝石轴承内孔与探针间距：< 6 µm

项目

参数

外观尺寸

560 mm * 460 mm * 400 mm

探针头参数

探针间距：1.00 mm

探针材料：碳化钨

探针压力 (可选)：4N (±1N)

机械游移：< 0.3%

宝石轴承内孔与探针间距：< 6 µm

●太阳能电池（单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿）

●液晶面板（ITO、AZO、FTO等透明导电膜）

●新材料研发（石墨烯、碳纳米管薄膜、MXene、导电高分子、二维材料、柔性电子材料、纳米复合导电材料、导电纤维布）

●半导体工艺（金属层/离子注入/扩散层）

●储能电池（锂电池极片、燃料电池双极板材料、超级电容电极材料、固态电解质）

RM300A 自动四探针方阻测试仪