四探针方阻测试仪 RM150A｜支持6英寸晶圆高精度测试 | 方阻电阻率薄膜厚度测量

产品概述

RM150A是专为科学研究设计的扫描四探针电阻测试仪，可以对最大150mm样品(或6英寸晶圆)进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%，为行业领先水平。10 μΩ~1 MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。

产品应用

● 半导体及太阳能电池(单晶硅、多晶硅、钙钛矿)

● 液晶面板(ITO/AZO)

● 功能材料(热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布)

● 半导体工艺(金属层/离子注入/扩散层)、非晶合金

产品特性

● 全自动多点扫描:多种预设方案供选择，也可以自定义测试方案

● 手动任意点测量:只需提供坐标，一键测量

● 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命

● 超宽测量范围: 10 μΩ~1 MΩ

● 最大样品尺寸: 150 mm*150 mm* 5 mm

● 测量速度: ~2秒/点

● 测量精度: ≤土0.1% (标准电阻片)

● 重复性(1σ): ≤0.2% (ITO标样动态测试)

● 数据可视化:3D图，等高线图

● 数据自动存储:存储为EXCEL格式，便于后期数据分析

项目	参数
外观尺寸	552mm520mm300mm
探针头参数	探针间距: 1.00 mm 探针材料:碳化钨探针压力(可选) : 4N (±1N) 机械游移: < 0.3% 宝石轴承内孔与探针间距: < 6 μm
定位精度	绝对定位精度: 50 μm 重复定位精度: 5 um 位移分辨率: 1 μm

项目

参数

外观尺寸

552mm*520mm*300mm

探针头参数

探针间距: 1.00 mm

探针材料:碳化钨

探针压力(可选) : 4N (±1N)

机械游移: < 0.3%

宝石轴承内孔与探针间距: < 6 μm

定位精度

绝对定位精度: 50 μm

重复定位精度: 5 um

位移分辨率: 1 μm

重复性测试数据图

动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%，为行业领先水平。

RM150A 自动四探针方阻测试仪