RM200A 自动四探针方阻测试仪
RM200A 自动四探针方阻测试仪

RM200A 自动四探针方阻测试仪

主要特性
RM200A是面向科研平台、半导体工艺与功能材料研发的自动四探针方阻测试仪,可对最大8英寸样品 进行自动扫描测试,获得样品不同位置的方阻、电阻率及分布信息。系统支持多点扫描与数据可视化分析, 适用于晶圆、薄膜、透明导电膜、太阳能电池材料及导电复合材料等样品的电学性能表征。
产品特性技术规格典型应用

• 全自动多点扫描:支持多种预设方案,也可根据样品形状自定义测试点位

• 手动任意点测量:输入坐标即可快速完成指定位置测试

• 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头,保证测量机械精度、稳定性和寿命

• 超宽测量范围:1 µΩ∼1 MΩ

• 最大样品尺寸:8 英寸样品

• 测量速度:∼2 秒/点

• 测量精度:±0.1%(标准电阻片)

• 重复性(1σ):≤0.2%(ITO 标样动态测试)

• 数据可视化:支持 2D 彩色热图和 3D 图

• 数据自动存储:测试数据可存储为 Excel 格式,便于后续数据分析

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