四探针原理｜非半无界样品的修正

本文将介绍丘山仪器四探针电阻测试仪在对不满足半无界条件的样品，例如厚度介于 10 倍探针间距（10 mm）与 0.1 倍探针间距（0.1 mm）之间的样品，以及直径小于100 mm 的样品的修正。丘山仪器四探针电阻测试仪配套 Smart FPP软件可以根据样品几何参数自动修正测量结果，使用户无需考虑各种使用条件，轻松获得样品方阻、电阻率、电导率等信息。

非半无界样品的电阻率需要在公式

的基础上进行修正，得到公式

 其中，F1 为探针修正系数，用来修正探针的出厂偏差，由厂家提供，为一个接近1的常数。

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F2 为厚度修正系数，当样品厚度在 0.4 mm ∼ 4 mm 之间时需要使用此修正系数。F2 数值可由表1得到。当样品厚度大于 4 mm 时可认为样品在厚度方向上为半无界样品，可由式 1直接得出样品电阻率。从表 A可知当样品厚度小于 0.62 mm 时，忽略厚度修正系数导致的误差小于 1%，在大多数场景下这个误差是可以接受的。

图a给出了 F2 随厚度变化曲线

F3 为样品直径修正系数，当样品直径介于 10 mm ∼ 200 mm 之间时，可使用此系数。F3数值可由表 2得到。当样品直径大于 200 mm 时，满足半无界条件，F3 接近于一，可忽略。同样的由表 2可知，当样品直径大于 28.6 mm 时，忽略 F3 导致的误差小于 1%，大多数场景下这个误差是可接受的。当样品直径大于 100 mm 时，忽略 F3 导致的误差小于 0.1%。

图b给出了 F3 随样品直径变化曲线

丘山仪器全自动四探针电阻

测试仪到此关于丘山仪器四探针电阻测试仪的原理以及不同几何特征样品电阻率的计算以及修正系数都已经介绍完毕。对于一般用户来说，这些原理并不需要深入了解，丘山仪器四探针电阻测试仪的产品工程师在设计产品时已经将这些情况考虑在内，一般用户仅需在丘山仪器电阻测试仪上输入样品厚度和直径信息，丘山仪器四探针电阻测试仪配套的Smart FPP软件会自行判断适用条件和相应的修正系数，让用户能够轻松获取准确的样品电阻率等参数。