近日，丘山仪器向南京大学相关实验平台交付一台 RM150A 扫描四探针电阻率测量仪。设备已完成现场安装、联机调试与使用说明，可用于薄膜、晶圆、半导体工艺层及多类功能材料的方阻/电阻率分布测试，为科研教学、工艺验证与材料研发提供稳定、高效的电学表征手段。
走进南京大学实验平台
此次设备交付现场位于南京大学集成电路产教融合相关实验平台。平台面向微纳制造、集成电路工艺、材料表征与教学实训等方向，配套建设了较为完整的实验与训练环境。
RM150A 的加入，将进一步补充平台在导电薄膜、半导体材料、太阳能电池、透明导电膜、二维材料、导电复合材料等方向的电阻率与方阻测试能力，帮助师生在样品制备、工艺优化和性能评价之间建立更直接的数据反馈。
自动扫描，让方阻分布看得更清楚
在材料研发和工艺开发中，单点测试往往只能回答“这个位置是多少”，而多点扫描才能进一步回答“整片样品是否均匀”“边缘与中心是否存在差异”“工艺参数变化是否带来分布改善”。
RM150A 支持最大 150 mm x 150 mm 样品，或 6 英寸晶圆的自动扫描测试。用户可选择预设测试方案，也可根据样品形状和研究需求自定义测试点位；软件支持矩阵建点与极坐标建点，并可保存为配方，便于重复调用。
测试完成后，数据可通过 2D 颜色编码图、3D 等高线图等方式呈现，帮助科研人员快速观察样品不同位置的方阻/电阻率分布。对于工艺均匀性分析、样品批次对比和异常点排查，这类可视化结果能显著提升判断效率。
精密探针头，服务可靠测量
四探针法是薄膜、半导体与导电材料电学测试中的经典方法。相比两探针方法，四探针测试能够减少接触电阻对结果的影响，更适合用于方阻和电阻率测量。
RM150A 采用碳化钨探针，探针间距 1.00 mm。其探针头借鉴机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导探针运动，以提升机械精度、稳定性和使用寿命。设备定位分辨率可达 1 um，重复定位精度可达 5 um，适用于需要多点、重复、稳定测试的科研场景。
在动态测试条件下，RM150A 重复性可达 +/-0.2%；测量速度约 2 秒/点，可兼顾测试效率与数据可靠性。其宽测量范围覆盖从低阻导电材料到高阻样品的多种应用需求，适合在开放式科研平台中服务不同课题组的测试任务。
面向多领域材料与工艺研究
RM150A 可广泛应用于：
• 半导体工艺中的金属层、离子注入层、扩散层测试
• 太阳能电池材料，如单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿等
• 透明导电膜，如 ITO、AZO、FTO 等
• 功能材料，如石墨烯、碳纳米管薄膜、MXene、导电高分子、银纳米线、柔性电子材料等
• 储能与导电复合材料，如锂电池极片、燃料电池双极板材料、超级电容电极材料等
对于高校和科研平台而言，仪器不仅要满足单一课题的测试需求，更要兼顾多学科、多材料、多批次样品的高频使用。RM150A 以自动化扫描、配方化测试、数据自动存储和可视化分析为核心，能够帮助实验平台提升测试流程的一致性与数据管理效率。
从交付到使用，丘山仪器持续服务科研现场
本次 RM150A 交付南京大学，是丘山仪器持续服务高校科研与先进材料表征需求的又一次实践。围绕设备安装、软件连接、点位设置、样品测量、数据导出与日常维护，丘山仪器为用户提供现场支持，帮助设备更快进入稳定使用状态。
未来，丘山仪器将继续围绕电学测试、材料表征与实验平台建设需求，打磨更可靠、更易用、更适合科研现场的仪器产品，与高校、科研院所及产业客户共同推动材料研发和工艺创新。
丘山仪器
专注科研级电学测试与材料表征设备。
